真空泄漏檢測是檢測真空系統泄漏部位及其尺寸的過程，泄漏又稱真實泄漏，是氣體從高壓側流向低壓側的現象。
虛漏，是相對實漏而言的一種物理現象。這種現象是由于材料放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發、氣體通過器壁的滲透及系統內死空間中氣體的流出等原因引起真空系統中氣體壓力升高的現象。
氣密性是表征真空系統器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過漏孔(或間隙)的漏氣和材質的滲氣。
最小可檢漏率是指某種檢漏方法能夠檢測出的漏率的最小值。
最佳靈敏度是指檢漏儀器或檢漏方法在最佳條件下所能檢測出的最小漏率。對于檢漏儀器來講，最佳靈敏度又稱作儀器靈敏度。
檢漏靈敏度是指在具體條件下，某種檢漏方法所能檢測出的最小漏率。檢漏靈敏度又稱作有效靈敏度。
反應時間，即從檢漏方法開始實施(如開始噴吹示漏氣體)到指示方法(如儀表)做出反應的時間。
消除時間，即從泄漏檢測方法停止（如停止噴射，開始提取泄漏氣體）到指示方法消失的時間。
泄漏率，即單位時間內通過泄漏孔（包括間隙）的氣體量。
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