今天，華爾升小編將為大家介紹氦氣檢漏儀的工作原理，讓我們一起來看看吧~
氦氣檢漏儀主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成，離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。
分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上。
收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率，冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置。
希望上述有關氦氣檢漏儀的工作原理可以幫助大家更好的了解氦氣檢漏儀，對此有需要的也歡迎評論區留言哦~
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