氦質譜檢漏儀可以應用測試在很多地方，那么，氦質譜檢漏儀可以測試高純氣體管道嗎？今天，讓華爾升小編帶大家來看看。
在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，一些管道等連接處可能存在肉眼無法察覺的小孔，使用時會導致泄漏和事故。特別是在半導體、集成電路等微電子行業輸送超高純電子氣體的氣體管道工程中，如果發生泄漏，將對生產安全產生很大影響，因此泄漏檢測非常重要。
高純氣體管道工程系統應用領域
項目涵蓋半導體、集成電路、平板顯示器、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各種實驗室、研究所、標準測試等高科技行業。
氣體管道的五項測試是QC中最重要的一部分，這五項測試分別是：保壓測試、氦氣檢漏測試（氦檢）、水分測試、氧分測試和顆粒測試，確保氣體管道系統的品質達到一定的水準和滿足客戶的需求。我們今天要了解的就是氦質譜檢漏測試的步驟和氦檢漏方法。
一、測試前準備
1. 系統成功的的通過了保壓檢漏。
2. 確認系統的所有部件都能承受得住真空狀態而不損壞。
3. 先對測漏儀本身閥組及連接管路進行漏率檢測。
4. 氦質譜檢漏儀與系統管路接通前，要將被測系統內的氣體釋放掉。
5. 緩緩打開測漏儀入口處的閥門，將測漏儀與管路系統隔離閥之間的管路抽真空，直至測漏儀顯示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。
6. 對連接管路上所有的焊道及機械連接處進行氦氣噴吹。
二、測試方法
1. 確認系統中所有的閥門和調壓閥都是全開的。
2. 確認系統中的壓力為0，如果系統中還有正壓，要先將系統中的氣體放掉。
3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態。
4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進行噴吹工作。
5. 從最靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏后，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到最后一個焊道或連接處。
6. 如果發現檢漏儀的指示值有上升的現象，待到檢漏儀讀值恢復正常后，重新檢測該焊道或連接處以確認其是否真的有漏，如果確認不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點為止。
7. 直至所有的接點都被檢測到，檢測合格的接點要貼合格標志。所有的接點都噴吹過氦氣后，繼續觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認讀值沒有異常后才可以將系統與儀器之間分離開。
8. 如果每個接點的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，說明該系統的漏率是符合要求的。測試人員可以將檢測結果記錄在檢測報告里了。
9. 將檢漏儀與系統分開。
那么以上就是有關氦質譜檢漏儀可不可以測試高純氣體管道的介紹，希望可以幫助到大家~
;
