電子 、半導(dǎo)體行業(yè)
在電子、半導(dǎo)體行業(yè)，氦檢儀因具備超高檢測(cè)靈敏度（可檢測(cè)至1×10?12 Pa·m3/s級(jí)別），廣泛用于對(duì)精密器件、封裝結(jié)構(gòu)及真空系統(tǒng)的密封性檢測(cè)，核心是通過(guò)氦氣示蹤法排查微小泄漏，保障產(chǎn)品性能與可靠性。以下是主要應(yīng)用場(chǎng)景和作用：
核心應(yīng)用場(chǎng)景
- 半導(dǎo)體芯片及封裝：
如集成電路（IC）、MEMS器件等，其封裝腔體（如BGA、CSP封裝）需隔絕水汽、雜質(zhì)，避免芯片氧化或短路。氦檢儀可檢測(cè)封裝蓋與基底的焊接/粘接泄漏，確保內(nèi)部惰性環(huán)境穩(wěn)定。
- 真空器件：
包括真空電子管、離子泵、真空腔體等，需維持高真空環(huán)境（如半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的真空腔）。氦檢儀可快速定位管道接口、密封圈等部位的微小泄漏，保障真空系統(tǒng)穩(wěn)定性。
- 電子元件外殼：
如傳感器外殼、繼電器、連接器等，其密封性直接影響耐環(huán)境性能（如防水、防腐蝕）。氦檢儀可檢測(cè)外殼接縫、引腳焊接處的泄漏，避免外部濕氣、粉塵進(jìn)入導(dǎo)致元件失效。
- 動(dòng)力電池部件：
新能源汽車(chē)的電池殼體、電芯密封結(jié)構(gòu)等，需防止電解液泄漏或外部水汽侵入。氦檢儀可對(duì)焊接縫、接口等進(jìn)行檢測(cè)，降低安全隱患。
主要作用
- 保障產(chǎn)品良率：在半導(dǎo)體制造中，微小泄漏可能導(dǎo)致芯片報(bào)廢，氦檢儀通過(guò)嚴(yán)格把控密封質(zhì)量，提升生產(chǎn)良率。
- 適應(yīng)精密化需求：針對(duì)納米級(jí)、微米級(jí)的器件結(jié)構(gòu)，傳統(tǒng)檢測(cè)方法無(wú)法識(shí)別的微小泄漏，氦檢儀可精準(zhǔn)捕捉，滿足行業(yè)對(duì)密封性的極致要求。
- 支持自動(dòng)化生產(chǎn)：與生產(chǎn)線集成的自動(dòng)化氦檢設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)批量快速檢測(cè)，適配電子、半導(dǎo)體行業(yè)的高速生產(chǎn)節(jié)奏。
氦檢儀是電子、半導(dǎo)體行業(yè)從研發(fā)到量產(chǎn)環(huán)節(jié)中，保障器件可靠性和系統(tǒng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵檢測(cè)工具，尤其在高端芯片、精密電子器件領(lǐng)域不可或缺。
