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分子泵過流保護分為加速中過流保護與恒速運行中過流保護兩種情況，應分別診斷：
（1）加速中過流保護

可能情況：系統漏氣、真空度較差

檢測方法及建議:
1）觀察分子泵前級真空度是否優于10Pa；

2）用檢漏儀對系統進行整機檢漏，確保系統無漏；

3）確保系統漏率在允許范圍內且前級優于10Pa后重啟分子泵。

（2）恒速運行中過流保護

可能情況：分子泵運行中負載突變

檢測方式及建議：
1）觀察系統真空度變化過程；

2）若出現較明顯變化（如10-4Pa降至10-1Pa），則會出現過流保護情況.

華爾升氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵進氣口一端，漏

入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有

不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高，華爾升智控型氦質譜檢漏儀HESZKAT800可達1000Pa（一般常規檢漏儀為0.05Pa以下），適合

檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受污染，燈絲壽命長等優點。