常用標準漏孔的兩種校準方法
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標準漏孔是在一定條件下向真空系統內部提供已知氣體流量的元件。一般要明確這個氣流量（即漏率）的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明，則指溫度為296±3K、入口壓力為1.01×105Pa、出口壓力低于1.33×103Pa的干燥空氣（其漏點溫度低于248K）的漏率。
標準漏孔的常用校準方法有定容升壓法和氦質譜檢漏儀比較法。
（1）定容升壓法
定容升壓法校準系統示意圖如下圖所示。
經預抽并烘烤容積V后，標準漏孔進氣端壓力p1＜1.33×103Pa，而V達到極限真空。當壓力為1.01×105Pa的校準氣體（例如N2氣）經標準漏孔流進容積V，并在V中壓力p2穩定后，關閉閥門S2記錄時間和環境溫度T，測出對應Δt時間的升壓Δp2則標準漏孔的漏率為式（10）。
（2）氦質譜檢漏儀的比較法
氦質譜檢漏儀比較法校準系統如下圖所示
在檢漏儀工作條件不變的前提下，先后測出已知漏孔L1和待校漏孔L2的進氣氦壓和訊號，則待校標準漏孔的漏率為式（11）。qL，01-已知標準漏孔L1的漏率；p1，p2-分別為L1、L2漏孔進氣端氦壓；I1，I2-分別為L1，L2漏孔的輸出訊號；I0-檢漏儀本底。
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