關于氦質譜檢漏儀的應用大家都有所了解，那么關于他的發展史小編覺得還是有許多朋友是不了解的，今天就讓小編跟大家科普一下吧。
從20世紀60年代開始，氦質譜檢漏儀被廣泛應用于航天、電子、原子能、制冷、電力、化工、汽車及食品等各個行業。特別是原子能、航天技術的發展，使氦質譜檢漏儀得到了飛速的發展。
1956年，Schumacher開始研究背壓檢漏，并將它應用到密閉電子器件的檢漏中去。1973年。Howl先生對背壓檢漏方法進行了詳盡的數學分析，他推導的漏率計算公式就是現在使用的背壓檢漏用的經典公式。
在國內，從20世紀60年代末開始，蘭州物理所開展了大容器檢漏方法研究，將擬質譜檢漏技術應用于衛星環模設備、鐵路運輸液氫槽車、運載火箭氫氧液體燃料箱等大型容器的檢漏中。1996年，北京衛星制造廠閏治平等人采用氦質譜的非真空收集法對衛星整體進行檢漏。近年來，曹輝玲等人將前級泵出口采樣法應用于電力工業及其他大型真空設備的檢漏中，采用特制的油污過濾裝置對氦具有和積累作用，提高了檢漏靈敏度。現在，氦質譜檢漏儀己成為迄今Z靈敏、Z有效、Z方便也是應用Z廣的檢漏手段。
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