氦質譜檢漏儀是一種用于氣體工業名詞術語的表示，并使用氣體分析儀檢測氦進行泄漏檢測。氦的底部噪聲低，分子量和粘度系數小，容易通過漏孔擴散；此外，氦是一種惰性氣體，不會腐蝕設備，因此氦通常用作泄漏氣體的表示。將氣體噴灑在與氣體分析儀連接的檢測容器上（調整到僅對氦反應的工作狀態）。如果容器有漏孔，分析儀會做出反應，從而知道漏孔的位置和漏氣量。
氦質譜泄漏檢測技術是真空泄漏檢測領域不可或缺的技術。由于泄漏檢測效率高、操作簡單、反應靈敏、精度高，不易受到其他氣體的干擾，廣泛應用于電阻爐泄漏檢測中。
氦質譜檢漏儀的特點：
1.便攜式設計。
2.設備外形美觀小巧。
3.采用液晶觸摸屏設計。
4.有通信接口。
5.可以方便地輸出檢漏數據。
氦質譜檢漏儀的工作原理：
氦質譜檢漏儀是一種基于質譜學原理的氣密性檢測儀器。它由質譜室、抽氣系統和電氣部件組成，由離子源、分析器、收集器和冷陰極電離規組成。質譜室燈絲發射的電子在房間內來回振蕩，與室內氣體和通過漏孔進入房間的氦氣相互碰撞，使其電離成正離子。這些氦離子在加速電場的作用下進入人體磁場。由于洛倫茲力的作用，它們偏轉并形成一個圓弧軌道。改變加速電壓可以通過磁場和接收接頭將不同質量的離子檢測到接收極。
