氦質譜檢漏的方法有很多，根據被檢工件的測量目的可以分為兩種類型，一種是漏點類型，另一種是漏率類型；在實際檢查過程中，應根據檢查目的選擇最合理的方法，并根據被檢件的具體情況靈活采用各種檢漏方法。
1、測定漏點型氦質譜檢漏方法
確定漏點類型不僅是確定要檢查的零件的具體漏點或漏孔位置，而且在衛星、導彈彈體、彈頭、輸氣管道、油箱、鍋爐等大零件或大零件中更為常見。
1.1、噴氦法氦質譜檢漏方法
噴氦法又叫噴吹法，最常用、最方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件，將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭，焊縫等) 用噴槍噴氦。
如果被檢器件某處有漏孔，當氦噴到漏孔上時，氦氣立即會被吸入到真空系統，從而擴散到質譜室中，氦質譜檢漏儀的輸出就會立即有響應，使用這種方法應注意：氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出后會自動上升，為了準確的在漏孔位置噴氦,噴氦時應自上而下，由近至遠(相對檢漏儀位置)，這是因為在噴下方時氦氣有可能被上方漏孔吸入，就很難確定漏孔的位置；再者漏孔離質譜室的距離檢漏儀反應時間也不同，所以噴氦應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠來進行。
在檢測大部件時，借助機械泵進行真空預抽，可以提高泄漏檢測效率和時間。當檢查結構復雜、密封口和焊縫較多、擠壓在一起的小容器時，由于氦噴出后會迅速擴散，往往不容易準確確定泄漏部位，應從不同角度噴氦，仔細觀察反應時間的差異，用真空密封暫時密封發現的泄漏，逐一檢測泄漏。
氦質譜檢漏儀噴氦法檢測優點：
1．檢測靈敏度高，可精確定位；
2．能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
氦質譜檢漏儀噴氦法檢測缺點：
1．只能實現一個大氣壓差的漏率檢測；
2．不能準確反映帶壓被檢件的真實泄漏狀態。
氦質譜檢漏儀噴氨法檢漏流程:
1.將工件組裝好后，再使用相應的工裝，將工件連接到檢漏儀上；
2.待確認連接OK后，按下檢漏儀“開始”按鍵，檢漏儀進入抽空檢漏狀態；
3.觀察檢漏儀顯示屏上的顯示的本底值達到4.0×10-10Pa.m3/s.；
4.使用99.99%或999%的氨氣，對工件可疑漏點，進行噴氨檢測；
5.每個可疑漏點，噴氨1秒，觀察檢漏儀本底值3-5秒。觀察檢漏儀本底值有沒有增加或檢漏儀是否有報警輸出；
6.按照步驟5依次檢測其它可疑漏點；
7.噴氨氣檢測順序是從上而下，先確認大漏點，8.檢測結束后，先按下檢漏儀“停止按鍵，待檢漏儀顯示屏出現待機畫面后，再拆卸工件。
1.2、吸氦法氦質譜檢漏方法
吸氦法（吸槍法）主要用于檢查某些大型密封容器。如導彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等，先將容器抽真空，再給容器充入氦氣(為了節省用氦量，可以用低濃度氦氣)。
將專用吸槍聯接在氦質譜檢漏儀器檢漏口上，被檢件則充入規定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例含氦的混合氣）。檢漏時，讓吸槍沿可疑漏孔處慢慢移動，若被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入送至儀器的質譜管而被檢測。
2、測定漏率型氦質譜檢漏方法
泄漏率類型主要用于檢測密封要求嚴格的部件，如宇宙飛船、火箭液體燃料儲罐、衛星、電子元件等。該方法只能測試試驗部件的泄漏率，不能確定泄漏孔的位置和泄漏孔的數量。
