如今，越來越多的大型渦輪分子泵或低溫泵被用來代替油擴散泵系統，以防止油蒸氣污染。因此，近十年來，國內外渦輪分子泵得到了顯著的改進和發展。
渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動快, 有機蒸汽污染少和極限真空高等特點. 因此在氦質譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統, 即使檢漏儀不用液氮冷阱, 質譜室也不致嚴重沾污, 并能保持較低的本底或雜聲. 這有利于氦質譜檢漏儀的靈敏度和穩定性的提高, 并且延長離子源的使用壽命。
氦質譜檢漏儀質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。
氦質譜檢漏儀中沒有手動閥，現已采用自控閥自動調節運轉時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵，以消除可能造成的油返流。計算機技術也在檢漏儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。還可以使用app遠程操控檢漏儀，并實時監控檢漏儀顯示漏率。
無論是用于研發的靈活可靠的系統，還是用于常規工業真空加工的熱處理系統，或適合在車間中實時檢測泄露的快速耐用的便攜解決方案，都可提供相應的解決方案。
我司可以提供相應的解決方案，無論是靈活可靠的研發系統，傳統的工業真空加工熱處理系統，還是適合實時檢測車間泄漏的便攜式解決方案，好了，以上就是有關氦質譜檢漏儀中分子泵與油泵的區別介紹，大家學會了嗎？
;
