示蹤氣體的選擇是非常重要的，直接決定了氣體分析儀的類型和實驗中釋放氣體的成本。根據(jù)示蹤氣體測量技術的使用場所和特點，氦檢漏儀對示蹤氣體的要求如下：
1， 化學性質穩(wěn)定，不會起化學反應或易燃易爆;
2， 質量輕，惰性氣體，能穿透微小細縫;
3， 無害: 不能對人體、環(huán)境、被檢件、檢漏儀造成污染、傷害或是存在安全隱患;
4， 最好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。
氦氣作為惰性氣體完美符合以上條件。
示蹤氣體種類有以下幾種：
1， 氫氣（H2）
2， 氦3（氦氣同位素氣體)
3， 氦4（He4 ）
目前，全世界絕大部分檢漏儀的示蹤氣體采用的是氦氣。
一般檢漏都用氦氣（He）作為示蹤氣體，也有用氫氣（H2）作為示蹤氣體的，氫和氦都是比較理想的示蹤氣體: 空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，同等條件下，直線運動距離長， 實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用， 但氫氣在使用中有一定的安全問題（存在爆炸風險），所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。
氦質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：
1， 氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極少 (在空氣中約含5，2ppm)，在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小， 正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。
2， 氦的質量小 (相對分子質量為4) ，易于穿過漏孔， 這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。
3， 氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。
4， 在氦兩側的是氫 (質荷比為2) 和雙電荷原子碳 (質荷比為6) ，質荷比都與氦相差較大， 這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開， 定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工， 同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。
5， 氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附，這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。
被檢測系統(tǒng)中不易吸附氦氣，孔真號可以快速檢測到泄漏，以便繼續(xù)檢測泄漏。氦提高了儀器的泄漏檢測效率。
好了，有關氦檢漏儀對示蹤氣體的要求我們就講到這里，希望對大家有所幫助~
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