防返油閥，又稱壓差閥。大家知道氦質譜檢漏儀為什么要使用防返油閥嗎？氦質譜檢漏儀中使用防返油閥的目的：主要是防止機械泵中的油，在檢漏儀停止工作時，從機械泵內返到檢漏儀的閥座內，導致檢漏儀無法正常使用。
防返油閥的作用：
防返油通常是裝配在機械泵的進氣口，另一端與分子泵的排氣口連接。
在通電后，防返油閥內部打開，使分子泵排氣口和機械泵進氣口導通。氣流沿分子泵進入機械泵。
在斷電后，防返油閥內部關閉，外界的空氣沿閥內部的通道進入閥的出氣口，使機械泵進氣口達到大氣壓狀態。
從而防止機械泵油從進氣口返出。
優點：防返油閥，能夠很好的避免因機械泵故障，導致返油到檢漏儀閥座和分子泵的概率。能夠更好的保護檢漏儀。
缺點：防返油閥內部的密封和放氣部件是由硅膠或氟膠類材料，這些材料，在長時間使用過程會老化，導致防返油閥的性能有所下降，如不定期保養，就不能達到很好的防返油的效果。
機械泵返油的主要原因是機械泵油內有異物，或其它顆粒裝的異物，殘留在機械泵進氣口內部的防放油裝置上，或防返油閥的密封圈上。破壞了機械泵和返返油閥的密封。而分子泵的排氣口，還保持著負壓狀態，就把機械泵的油給吸上閥座里來了。
那么上述即是有關氦質譜檢漏儀為什么要使用防返油閥的介紹，大家學會了嗎？
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