保持檢漏儀的穩定性和長期正常運行是提高檢漏儀工作效率的基礎，首先它的預防性保養非常重要：眾所周知，檢漏儀內部的真空泵、閥門等活動部件在工作時會有磨損，這些部件需要定期的保養維護。檢漏儀工作時還會吸入粉塵、可凝性氣體等污染物，特別是揮發性有機物。這些污染物會進到檢漏儀內部并不斷累積，影響多個核心部件的正常工作。上醫治未病，對這些部件的預防性保養將最大程度的降低您的設備突然停機的風險，并節省維修成本。
閥體
閥體內部結構精密，通道復雜。檢漏儀吸入的粉塵等污染物會堆積在閥體通道內，并產生諸如閥門密封不嚴/漏氣、本底漏率讀數較高或不穩定等故障。
離子源
附著在離子源腔體內表面和燈絲上的污染物容易被電離產生黑色積碳，造成離子源壽命下降，檢漏儀靈敏度下降、漏率讀數不準確/不穩定、校準出現 “增益過高” 的報警等故障。
前級泵
前級泵在工作過程中吸入來自工件的污染物和空氣中的水汽。如疏于保養，將導致泵油變質、乳化，泵腔內部磨損或生銹，前級泵運轉噪音變大、油封漏油，還會影響到極限真空從而影響檢漏精度，甚至因為前級泵的極限真空無法達到分子泵啟動的壓力，檢漏儀啟動后將一直處于“壓力等待”狀態。
渦輪分子泵
檢漏過程中吸入的污染物，如果在閥體內部積存過多，可能會被帶入分子泵內部。粉塵和揮發性有機物會造成軸承潤滑不良，壽命降低，并造成分子泵功率過高甚至檢漏儀報警停機。
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