大家覺得氦質(zhì)譜檢漏儀可以應(yīng)用于鍍膜設(shè)備的靈敏度嗎？今天，讓我們一起來看看~
真空鍍膜設(shè)備中用于殘余氣體分析的質(zhì)譜儀可以用H?、He、Ar等作為示蹤氣體進(jìn)行泄漏檢測，但這些泄漏檢測儀的泄漏檢測靈敏度不同。自20世紀(jì)40年代以來，質(zhì)譜儀在泄漏檢測中的應(yīng)用進(jìn)一步促進(jìn)了泄漏檢測技術(shù)的發(fā)展。對氦質(zhì)譜檢漏儀的評價需要充分了解其主要性能指標(biāo)。靈敏度是氦質(zhì)譜檢漏儀的主要參數(shù)。由于世界各國對氦質(zhì)譜泄漏檢測儀靈敏度的定義不一致，在我國，氦質(zhì)譜泄漏檢測儀的靈敏度基本上用最小可檢漏率來表示。
氦質(zhì)譜檢漏儀的最小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個最佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個大氣壓的純氦），做“動態(tài)檢漏”時能檢出的最小漏孔的漏率。
1、最佳工作條件
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到最佳工作狀態(tài)等。
2、動態(tài)檢漏
指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時長小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的。
3、最小可檢
指其信號是本底噪聲的兩倍。
4、漏孔的漏率
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。
對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，最好給出檢漏裝置的最小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的最小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“最小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當(dāng)中氦的濃度。
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