深圳華爾升智控技術有限公司專業從事研發、設計、生產、銷售、維護、咨詢氦質譜檢漏儀的企業,是一家具有自主知識產權和持續創新能力,經營業績穩定增長的高科技企業。下面由華爾升小編為你介紹下標準漏孔的兩種校準方法。
標準漏孔是在一定條件下向真空系統內部提供已知氣體流量的元件。一般要明確這個氣流量(即漏率)的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明,則指溫度為296±3K、入口壓力為1.01×105Pa、出口壓力低于1.33×103Pa的干燥空氣(其漏點溫度低于248K)的漏率。
標準漏孔的常用校準方法有定容升壓法和氦質譜檢漏儀比較法:
(1)定容升壓法
定容升壓法校準系統示意圖如下圖所示。
經預抽并烘烤容積V后,標準漏孔進氣端壓力p1<1.33×103Pa,而V達到極限真空。當壓力為1.01×105Pa的校準氣體(如N2氣)經標準漏孔流進容積V,并在V中壓力p2穩定后,關閉閥門S2記錄時間和環境溫度T,測出對應Δt時間的升壓Δp2則標準漏孔漏率為式(10)。
(2)氦質譜檢漏儀的比較法
氦質譜檢漏儀比較法校準系統如下圖所示
在檢漏儀工作條件不變的前提下,先后測出已知漏孔L1和待校漏孔L2的進氣氦壓和訊號,則待校標準漏孔的漏率為式(11)。qL,01-已知標準漏孔L1的漏率;p1,p2-分別為L1、L2漏孔進氣端氦壓;I1,I2-分別為L1,L2漏孔的輸出訊號;I0-檢漏儀本底。